主要技術參數：

1.      極限真空度：5.0x10^-4Pa；

2.      工作真空度：6.67x10^-3Pa；

3.      抽速：從大氣抽至6.67x10^-3Pa，＜9分鐘；

4.      壓升率：0.45Pa/小時；

5.      自轉軸中心距：156mm；

6.      工位：18個（工件架最大自轉半徑為130mm）；

7.      電氣控制系統：PLC全自動控制，可動行多種工藝設置；


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